साफ कमरे स्थैतिक नियंत्रण
(1) स्थैतिक नियंत्रण के बुनियादी सिद्धांत
1 स्थैतिक नियंत्रण का स्तर निर्धारित करें
2 स्थिर चार्ज की पीढ़ी को कम से कम
3 वेंटिलेशन और न्यूट्रलाइजेशन मेथड्स स्टैटिक चार्ज के विघटन में तेजी लाते हैं और स्टैटिक बिजली के जमाव को रोकते हैं
4 उत्पाद को ESD क्षति से सुरक्षित रखें
(२) स्थैतिक नियंत्रण का स्तर निर्धारित करना
1 घटक, घटक और उपकरण इलेक्ट्रोस्टैटिक संवेदनशीलता रेटिंग
स्तर 1: 0-1999V इलेक्ट्रोस्टैटिक वोल्टेज से क्षति के लिए अतिसंवेदनशील
स्तर 2: 2000-3999V इलेक्ट्रोस्टैटिक वोल्टेज से नुकसान के लिए अतिसंवेदनशील
स्तर 3: 4000-5999V इलेक्ट्रोस्टैटिक वोल्टेज से नुकसान के लिए अतिसंवेदनशील
यदि संवेदनशील स्थिर वोल्टेज 16000V से अधिक है, तो विरोधी स्थैतिक उपाय करना आवश्यक नहीं है।
2 इलेक्ट्रोस्टैटिक संरक्षण कार्य क्षेत्र का वर्गीकरण
कक्षा ए: इलेक्ट्रोस्टैटिक क्षमता को। 100 वी से अधिक नहीं होने दें
कक्षा बी: इलेक्ट्रोस्टैटिक क्षमता को। 1000 वी से अधिक नहीं होने दें
वास्तविक इंजीनियरिंग में, इलेक्ट्रोस्टैटिक क्षमता 100 वी, 500 वी, 1000 वी और अन्य घटकों, घटकों और उपकरण स्थिर संवेदनशील वोल्टेज 3 से अधिक नहीं है।
(३) स्थिर चार्ज की पीढ़ी को कम करना
यह तीन-चरण स्थैतिक बिजली को नियंत्रित करने का पहला कदम है। इस स्वच्छ कार्य वातावरण में, सबसे अच्छे उपाय हैं:
1 संपर्क घर्षण जुदाई प्रक्रिया के दौरान उत्पन्न इलेक्ट्रोस्टैटिक चार्ज को कम करने के लिए समान उपकरणों का उपयोग करने का प्रयास करें;
2 उन उपकरणों का उपयोग करने का प्रयास करें जो संपर्क घर्षण पृथक्करण प्रक्रिया द्वारा उत्पन्न संचित स्थैतिक आवेश को कम करने के लिए स्थैतिक बिजली या स्थिर विघटनकारी सामग्री का संचालन करते हैं;
3 संपर्क घर्षण को कम करके और स्थिर चार्ज उत्पन्न करके उत्पादन प्रक्रिया को कम करने का प्रयास करें।
(4) रिलीज और न्यूट्रलाइजेशन
स्थैतिक बिजली के ट्रायड को नियंत्रित करने का यह दूसरा चरण है। माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक उत्पादन के साफ कमरे में सबसे आम उपाय ग्राउंडिंग है, प्रवाहकीय या विघटनकारी सामग्रियों द्वारा स्थिर चार्ज का निर्वहन, और आयनित उपभोक्ताओं में स्थिर चार्ज।
1 मैदान
साफ कमरे को एक स्वतंत्र इलेक्ट्रोस्टैटिक ग्राउंडिंग सिस्टम प्रदान किया जाएगा, जिसमें ग्राउंडेड मेटल मेश सपोर्ट सिस्टम और प्रोडक्शन लाइन वर्कस्टेशन (स्टेज) ग्राउंड सपोर्ट सिस्टम शामिल है। ताकि कमरे में सभी उपकरणों की धातु आवरण, मोबाइल उपकरणों की धातु ब्रैकेट, विरोधी स्थैतिक उपकरण, आदि सुरक्षित रूप से और प्रभावी ढंग से पृथ्वी को स्थिर चार्ज का निर्वहन करते हैं, और कार्यकर्ता के विद्युतीकरण को कलाई के पट्टा के माध्यम से जमीन पर रखा जाता है, और विरोधी स्थैतिक जूते या एड़ी का पट्टा विरोधी स्थैतिक हैं। जमीन पृथ्वी से जुड़ी है। जमीन, दीवार, छत, विभाजन, आदि हार्ड ग्राउंड हैं, और उपकरण आवरण, मोबाइल उपकरण (कार, कुर्सी, शेल्फ, आदि), कार्यक्षेत्र, आदि नरम जमीन हैं।
2 आयनीकरण जिओ विद्युत
यह अपरिहार्य है कि कुछ अछूता कंडक्टर होंगे जो स्वच्छ कमरे में घटकों, पीसीबी, उत्पादन लाइनों और कार्यस्थानों में नहीं डाले जा सकते हैं। ढांकता हुआ सामग्री (जैसे कि सबसे आम प्लास्टिक) को इन्सुलेट करना, कुछ वातावरणों में, आयनीकरण उपभोक्ताओं को अक्सर उपयोग किया जाता है। स्थानीय रूप से इन वस्तुओं पर स्थैतिक चार्ज को विघटित करना, और अधिक बार एयर आयनीकरण के माध्यम से इन्सुलेट माध्यम पर और पृथक कंडक्टर पर किए गए इलेक्ट्रोस्टैटिक चार्ज को बेअसर करना।
3 प्रवाहकीय स्थिर और स्थिर विघटनकारी सामग्री
प्रवाहकीय सामग्री और स्थिर विघटनकारी सामग्री भी इलेक्ट्रोस्टैटिक चालकता के कारण अच्छी स्थैतिक आवेशित सामग्री होती है, और धातु के कंडक्टर की तुलना में सुरक्षित होती है। वे आमतौर पर फर्श, दीवारों, काम बेंच और टर्नओवर कंटेनर के रूप में उपयोग किए जाते हैं। विरोधी स्थैतिक उपकरण जैसे चिमटी और ब्रश।
(5) ईएसडी के खिलाफ संरक्षण, उत्पादों की सुरक्षा
स्थैतिक बिजली के तीन-चरण नियंत्रण में यह अंतिम चरण है। माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक उत्पादन के स्वच्छ कमरे में, ईएसडी को इलेक्ट्रोस्टैटिक रूप से संवेदनशील घटकों या घटकों पर होने से रोकने के लिए, एक विधि घटकों और घटकों के लिए उचित ग्राउंडिंग प्रदान करना है। शंट को उत्पाद पर मौजूद स्टेटिक चार्ज को "डिसिपेट" करना है; दूसरी विधि उचित पैकेजिंग विधियों और सामग्रियों के साथ इलेक्ट्रोस्टैटिक संवेदनशील उपकरण की पैकेजिंग और परिवहन को संभालना है। ये सामग्री उत्पाद में घुसपैठ से प्रभावी ढंग से चार्ज को ढाल देती है और इलेक्ट्रोस्टैटिक चार्ज बनाने के लिए पैकेज में उत्पाद की गति को कम करती है।
अंतरराष्ट्रीय स्तर पर, अर्धचालक, फ्लैट-पैनल लिक्विड क्रिस्टल डिस्प्ले, ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक्स तेजी से विकसित हो रहे हैं, और एकीकरण उच्च और उच्चतर हो रहा है। 8 "12" चिप्स दिखाई देते हैं, चिप व्यास पतले और पतले हो रहे हैं, और एंटी-स्टैटिक आवश्यकताएं अधिक और अधिक हो रही हैं, तालिका 4 देखें।
संयुक्त राज्य अमेरिका के ESD एसोसिएशन ने ANS ESD S20.20-1999 इलेक्ट्रोस्टैटिक डिस्चार्ज कंट्रोल स्टील को संशोधित करना शुरू कर दिया है, और SSD इलेक्ट्रोस्टैटिक संवेदनशीलता वर्गीकरण में कुछ संशोधन किए हैं, टेबल्स 5, 6 और 7 देखें।
यह घटक उपयोगकर्ता को चेतावनी देता है कि पर्यावरण नियंत्रण आवश्यकताओं की आवश्यकता हो सकती है, चाहे व्यक्ति या उपकरण का निर्माण किया जा रहा हो। यदि EPA क्षेत्र में स्वीकार्य वोल्टेज 25V तक पहुंच जाता है, तो मुझे डर है कि हमारे मौजूदा विरोधी स्थैतिक उपकरण, उपकरण, उपकरण और इंजीनियरिंग को कड़ी मेहनत करनी होगी।