अर्धचालक उत्पादन में इलेक्ट्रोस्टैटिक संरक्षण
अर्धचालक विनिर्माण प्रक्रिया में स्थैतिक बिजली की रोकथाम और नियंत्रण आवश्यक है। यदि स्थैतिक बिजली की रोकथाम और नियंत्रण नहीं किया जाता है, तो कण प्रदूषण, इलेक्ट्रोस्टैटिक निर्वहन के कारण अर्धचालक क्षति और संबंधित उपकरण बंद होने जैसी समस्याएं उत्पन्न होंगी। अर्धचालक उत्पादन प्रक्रिया में स्थैतिक बिजली की रोकथाम और नियंत्रण कार्यक्रम में शामिल हैं: ग्राउंडिंग, स्थिर विघटनकारी सामग्री और वायु आयनीकरण न्यूनीकरण। सेमीकंडक्टर उद्योग के तेजी से विकास द्वारा लाई गई आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए, स्थिर विघटनकारी सामग्री और एयर आयनाइज़र भी लगातार बदल रहे हैं।
अर्धचालक उत्पादन में स्थैतिक नियंत्रण की आवश्यकता
अर्धचालक उत्पादन के क्षेत्र में, स्थैतिक बिजली के नकारात्मक प्रभावों को पूरी तरह से समाप्त करना असंभव है। स्थैतिक संरक्षण के साथ भी, उत्पाद की गुणवत्ता और उपज का उच्च स्तर बनाए रखना मुश्किल है। हालांकि, अगर स्थैतिक नियंत्रण, कण प्रदूषण, इलेक्ट्रोस्टैटिक डिस्चार्ज क्षति और उपकरण विफलता की कमी है, तो ये समस्याएं सिलिकॉन सबस्ट्रेट्स और फोटोमैस्क के निर्माण में हैं, सेमीकंडक्टर से पहले साफ कमरे में और विधानसभा, पैकेजिंग सहित डाउनस्ट्रीम प्रक्रियाओं में , और अंतिम परीक्षण और शिपिंग। यह किसी भी समय हो सकता है, सेमीकंडक्टर उत्पादों की गुणवत्ता को गंभीरता से प्रभावित कर सकता है।
अर्धचालक स्थैतिक नियंत्रण विधि
अर्धचालक विनिर्माण वातावरण में, चाहे सामने के साफ कमरे में हो या पीछे के परीक्षण, विधानसभा और पैकेजिंग में, कंडक्टरों और स्थैतिक विघटनकारी सामग्रियों का उपयोग किया जाना चाहिए। ग्राउंडिंग स्थिर विद्युत को अछूता वाले कंडक्टर और स्थिर विघटनकारी सामग्री पर उत्पन्न होने से रोकता है। यदि ये सामग्रियां स्थैतिक बिजली ले जाती हैं, तो वे स्थैतिक बिजली भी निकाल सकती हैं। कार्मिक, उपकरण, कारखाने की सतह (फर्श, दीवार, छत और काम की सतह) सहित हर प्रवाहकीय सामग्री, विश्वसनीय ग्राउंडिंग होनी चाहिए। इन जमीनी टर्मिनलों की नियमित जांच होनी चाहिए। कुछ अनियंत्रित कंडक्टर आमतौर पर स्थैतिक निर्वहन स्रोत होते हैं।
स्थैतिक विघटनकारी सामग्री कुछ इन्सुलेट सामग्री (जैसे लचीलेपन और रासायनिक प्रतिरोध) के गुणों को बनाए रखते हुए स्थिर प्रभार को विघटित करती है। यदि वे मज़बूती से ग्राउंडेड हैं, तो वे स्टैटिक चार्ज को बरकरार नहीं रखेंगे। कुछ अनुप्रयोगों (जैसे डेस्कटॉप कंप्यूटर या टेस्ट सॉकेट) में, ये सामग्री कंडक्टर सामग्रियों को बदल सकती हैं। इन अनुप्रयोगों में, वे इलेक्ट्रोस्टैटिक रूप से चार्ज किए गए उत्पादों के संपर्क में आ सकते हैं। स्थिर विघटनकारी सामग्रियों का उच्च प्रतिरोध (आमतौर पर 10 ^ 4 से 10 ^ 11 ओम की सीमा में) इलेक्ट्रोस्टैटिक डिस्चार्ज क्षति घटनाओं को रोकने के लिए चार्ज मूवमेंट प्रक्रिया को धीमा कर सकता है। स्थैतिक विघटनकारी सामग्रियों का नियमित रूप से निरीक्षण और परीक्षण किया जाना चाहिए। इन सामग्रियों में से कई स्वच्छ कमरे के साथ संगत नहीं हैं, और समय के साथ स्थिर विघटनकारी विशेषताएं बदल जाएंगी, इसलिए उनका उपयोग करते समय उन्हें सही ढंग से चुना जाना चाहिए।