अर्धचालक उद्योग का पर्यावरण संरक्षण
जैसे-जैसे लोगों की पर्यावरण संबंधी जागरूकता बढ़ती है, वैसे-वैसे पर्यावरण संरक्षण के मुद्दों पर भी ध्यान दिया जाता है। हमारे पास केवल एक ग्रह है। अर्थव्यवस्था को विकसित करते हुए हमारे पर्यावरण को कैसे बचाए रखना एक जरूरी विषय बन गया है। वैश्विक पर्यावरण पर बोझ कम करें, सुरक्षा और स्वास्थ्य सुनिश्चित करें और पर्यावरण की रक्षा करें। संसाधनों को बचाने के लिए ऊर्जा की बचत, कचरे को रिसाइकिल करना, कचरे को कम करना और रासायनिक पदार्थों के निर्वहन का प्रबंधन करना पर्यावरण की रक्षा के लिए लोगों की आम सहमति बन गई है। ISO14000 प्रमाणन को बढ़ावा देने और 21 वीं सदी के हरे कारखाने के निर्माण के लक्ष्य के साथ, लोगों ने पर्यावरण संरक्षण में सक्रिय प्रयास किए हैं। अर्धचालक विनिर्माण उद्योग की विशिष्टता ने विभिन्न उद्योगों को पर्यावरण संरक्षण के मुद्दों पर अधिक ध्यान दिया है।
ग्लोबल वार्मिंग प्रभाव की रोकथाम
पृथ्वी के ग्लोबल वार्मिंग प्रभाव को रोकना एक गर्म विषय बन गया है जो हाल के वर्षों में व्यापक रूप से चिंतित है। अर्धचालक विनिर्माण उद्योग में, दो मुख्य समस्याएं हैं:
1. ऊर्जा की बचत
सेमीकंडक्टर उद्योग के विनिर्माण उपकरण, एयर कंडीशनिंग उपकरण, ठंड / गर्मी स्रोत उपकरण, और शुद्ध पानी, तरल आपूर्ति, निकास गैस, गैस, बिजली के उपकरण, आदि का उपयोग, 24 घंटे एक दिन, 365 दिन एक वर्ष में लगातार काम करते हैं, और बहुत अधिक ऊर्जा की खपत करते हैं। ऊर्जा खपत के प्रकार से, बिजली और ऊर्जा में लगभग 85% और ऊर्जा स्रोतों जैसे कि ईंधन और भाप में 15% का योगदान होता है। बिजली की खपत के उपयोग से, पूर्व-प्रक्रिया निर्माण उपकरण लगभग 40% -50%, एयर कंडीशनिंग, ठंडा / गर्मी स्रोत उपकरण लगभग 30% है, और अन्य सहायक उपकरण लगभग 25% है।
ऊर्जा की बचत, लागत को कम करना और उत्पाद प्रतिस्पर्धा में सुधार ऐसे कार्य हैं जिन्हें कंपनियां लंबे समय से लागू कर रही हैं। एक ओर, मौजूदा उपकरणों के तकनीकी परिवर्तन के माध्यम से, महत्वपूर्ण आर्थिक लाभ प्राप्त किए जा सकते हैं, लेकिन दूसरी ओर, अर्धचालक कारखानों में निवेश अब बहुत बड़ा है, प्रौद्योगिकी का विकास बेहद तेज है। सेमीकंडक्टर उद्योग के रूप में, ऊर्जा संरक्षण की भावी अनुसंधान दिशा निम्नलिखित पहलुओं में बनाई जानी चाहिए:
विनिर्माण उपकरण: ऊर्जा रूपांतरण दक्षता में सुधार और इस प्रकार ऊर्जा बचत उद्देश्यों को प्राप्त करने के लिए ऊर्जा उपयोग में सुधार; उपकरण की अतिरिक्त अवस्था में बिजली की खपत को कम करना, ऊर्जा की बचत के उद्देश्यों को प्राप्त करने के लिए एयर कंडीशनिंग लोड को कम करना; उपकरण निकास क्षमता को कम करें ऊर्जा बचत के उद्देश्यों को प्राप्त करने के लिए निकास गैस उपचार भार कम हो गया है; ऊर्जा की बचत को प्राप्त करने के लिए शुद्धि क्षेत्र के नियंत्रण के लिए उपकरणों की स्थापना क्षेत्र को कम किया जाता है।
सहायक उपकरण: उपकरण का लघुकरण; ऊर्जा को बचाने के लिए वायु परिसंचरण की बिजली की खपत को कम करने के लिए उच्च शुद्धि क्षेत्र के क्षेत्र में कमी; कम दबाव के नुकसान के साथ एयर कंडीशनिंग सिस्टम का उपयोग; बिजली की खपत के चौरसाई को बढ़ावा देने के लिए नई इन्सुलेशन सामग्री का उपयोग; ऊर्जा के उपयोग को कम करने की प्रक्रिया के दौरान उत्पन्न कार्बन डाइऑक्साइड का उपयोग करें।
उत्पाद विकास और प्रक्रिया डिजाइन: उच्च मूल्य वर्धित उत्पादों को विकसित करना; लागत उन्मुख उत्पाद विकास (चिप क्षेत्र को कम करना, प्रक्रिया मानकीकरण, डिजाइन चक्र को छोटा करना); उत्पादन में वृद्धि (उत्पादन दर में वृद्धि, इंजीनियरिंग की संख्या को कम करना, और परीक्षण का समय कम करना)।
अर्धचालक उद्योग का विकास स्वयं उच्च-प्रदर्शन, हल्का, पतला और कम ऊर्जा वाला हो गया है। मशीनरी और उपकरणों के लिए ऊर्जा संरक्षण की दिशा में योगदान दिया। हम ऊर्जा संरक्षण के लिए नए उपकरणों की शुरुआत की आशा करते हैं।
2. पीएफसी कम करें
PFC (PREFLUOROCARBON) का उपयोग मुख्य रूप से सेमीकंडक्टर मैन्युफैक्चरिंग के लिए CVD इंजीनियरिंग में, सफाई गैस के रूप में, और ड्राई ईचिंग इंजीनियरिंग में प्रोसेस गैस के रूप में किया जाता है। पीएफसी को पृथ्वी की ओजोन परत को नष्ट करने की क्षमता के कारण उत्सर्जन में कमी को शामिल किया गया है। उनमें से अधिकांश को सीधे संसाधित नहीं किया जाता है और सीधे वायुमंडल में छुट्टी दे दी जाती है, और पीएफसी के उत्सर्जन को कम करना एक महत्वपूर्ण मुद्दा है जो भविष्य में अर्धचालक विनिर्माण उद्योग का सामना कर रहा है।
भविष्य के शोध निर्देश निम्नलिखित पहलुओं पर ध्यान केंद्रित करेंगे:
एक डिस्चार्ज किए गए पीएफसी रीसाइक्लिंग सिस्टम का विकास (प्रभावी ढंग से और प्रभावी ढंग से रीसायकल करने, अलग करने और पीएफसी को परिष्कृत करने के लिए कैसे शामिल है); नई पीएफसी प्रसंस्करण प्रौद्योगिकियों का विकास (पीएफसी को गैर-ग्रीनहाउस गैस उत्सर्जन में परिवर्तित करना); वैकल्पिक गैसों का विकास (गैसों का प्रतिस्थापन वर्तमान में एक छोटे ग्लोबल वार्मिंग गुणांक वाली गैसों के साथ किया जाता है; नई प्रक्रियाओं का विकास (नई नक़्क़ाशी प्रक्रियाओं का अनुसंधान)।
अप्रैल 1998 में घोषित इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योग में पीएफसी के उत्सर्जन को नियंत्रित करने के लिए जापान की योजना, 1995 के आधार पर कमी लक्ष्य का प्रस्ताव करती है। 2010 तक, नई लाइन के लिए प्रत्येक परियोजना के उत्सर्जन में 70% की कमी आएगी। लाइन में 10% की कटौती की गई है। संयुक्त राज्य अमेरिका ने सेमीकंडक्टर उद्योग में उपयोग किए जाने वाले पीएफसी की वसूली दर के लिए भी एक लक्ष्य निर्धारित किया है। यहां, घरेलू उद्योग के खिलाड़ियों को इस मुद्दे पर जल्द ध्यान देने के लिए आमंत्रित किया जाता है।