स्वच्छ कमरों में स्थैतिक बिजली का विश्लेषण

स्वच्छ कमरे में स्थिर बिजली का विश्लेषण

① बड़ी संख्या में उच्च-इंसुलेशन ढांकता हुआ सजावटी सामग्री, फर्श, दीवारें, दरवाजे, छत, विभाजन, कार्यक्षेत्र, कुर्सियां, आदि, ये सामग्री आसानी से घर्षण द्वारा चार्ज की जाती है और लीक और रिलीज करने के लिए आसान नहीं होती है।
फोटोलिथोग्राफी रूम में ईएसडी प्लास्टिक का फर्श 5 0 0V ~ 1000V है, प्रसार कक्ष में प्लास्टिक का फर्श 500V ~ 1500V है, टाइल फर्श भी 500V ~ 1500V है, प्लास्टिक वॉलपेपर 700V है, प्लास्टिक की छत 0V ~ 1000V है, और धातु चालित चमड़े की सतह है।
② जब लोग साफ कपड़े, जूते, चलने या काम करते हैं, तो वे अलग -अलग सामग्री और उपकरणों के खिलाफ रगड़ने पर स्थिर बिजली उत्पन्न करेंगे, और लोगों, कपड़े और जूते चार्ज किए जाएंगे।
ईएसडी नायलॉन कपड़े और ईएसडी प्लास्टिक रबर-सोल्ड जूते पहने लोग धीरे-धीरे साफ फर्श पर चलते हैं, और वे 7000 वी ~ 8000 वी स्टेटिक वोल्टेज ले जाते हैं। विनाइल फ्लोर पर चलना 1200V (10%~ 20%RH), 250V (65%~ 90%Rh) स्टेटिक वोल्टेज ले जा सकता है, कालीन पर चलना 35000V (10%~ 20%RH), 1500V (65%~ 90%Rh) ले जा सकता है, और चिप असेंबली लाइन पर श्रमिकों द्वारा पहना जाने वाला काम 10KV तक पहुंच सकता है।
③ एयर कंडीशनिंग एयरफ्लो प्राथमिक फ़िल्टर, मध्यम फिल्टर और उच्च दक्षता फिल्टर से होकर गुजरता है, और शुद्ध आउटलेट एयरफ्लो को सांख्यिकीय रूप से चार्ज किया जाता है। एल्यूमीनियम प्लेट एयर सप्लाई और रिटर्न आउटलेट लगभग 500 ~ 1000V हैं।
④ बड़ी संख्या में इंसुलेटिंग उपकरण, उपकरण और उपकरण भी स्थिर चार्ज के महत्वपूर्ण स्रोत हैं। वेफर असेंबली प्रोडक्शन लाइन: वेफर लोडिंग बॉक्स 35KV, ऑर्गेनिक ग्लास कवर 8KV, क्वार्ट्ज प्रोडक्ट्स 1.5KV, वेफर ट्रे 6KV, ऐक्रेलिक कवर 20KV, टेबल टॉप 10KV, प्लास्टिक स्टोरेज कैबिनेट 30KV, ग्लास फाइबर क्रिस्टल लोडिंग बॉक्स स्लाइडिंग पॉलीप्रोपाइलीन टेबल टॉप के ऊपर 10kv। संक्षेप में, क्लीन रूम की स्वच्छता आवश्यकताएं जितनी अधिक होती हैं, उतना ही गंभीर रूप से स्थैतिक चार्ज होगा।