इलेक्ट्रोस्टैटिक संरक्षण के लिए बुनियादी विचार और तकनीकी दृष्टिकोण
इलेक्ट्रोस्टैटिक डिस्चार्ज डिवाइस को नुकसान पहुंचा सकता है, लेकिन ईएसडी सिस्टम स्थापित करने के लिए उचित और उचित ईएसडी सुरक्षा और नियंत्रण के उपाय करके, ईएसडी को घटकों को नुकसान को कम करने के लिए समाप्त या नियंत्रित किया जा सकता है। इलेक्ट्रोस्टैटिक संरक्षण और संवेदनशील उपकरणों के नियंत्रण के लिए दो बुनियादी विचार हैं:
1. (1) स्थैतिक बिजली के संचय को उन स्थानों पर रोकें जहाँ ग्राउंडिंग हो सकती है, और इलेक्ट्रोस्टैटिक डिस्चार्ज की घटना से बचने या कम करने के लिए कुछ उपाय करें, या इलेक्ट्रिक चार्ज के संचय को खत्म करने के लिए "लीक करते समय" की विधि को अपनाएं। । चार्ज को इस हद तक नियंत्रित किया जाता है कि इससे नुकसान न हो।
1. (2) संचित चार्ज को जल्दी और मज़बूती से संचित करें।
2.1 प्रक्रिया नियंत्रण विधि
उत्पादन प्रक्रिया के दौरान जितना संभव हो उतना कम स्थिर चार्ज का उत्पादन करने के लिए डिज़ाइन किया गया। इसके लिए, स्थिर विद्युत के उत्पादन और संचय को नियंत्रित करने के लिए प्रक्रिया प्रवाह, सामग्री चयन, उपकरण स्थापना और संचालन प्रबंधन और इलेक्ट्रोस्टैटिक क्षमता और इलेक्ट्रोस्टैटिक निर्वहन क्षमता को दबाने के लिए उपाय किए जाते हैं ताकि डिग्री से अधिक न हो क्षति। अर्धचालक विनिर्माण प्रक्रिया में, उच्च गति वाले उपकरण के उथले जंक्शन बनाने की प्रक्रिया पूरी होने के बाद रिंसिंग के लिए विआयनीकृत पानी की प्रतिरोधकता को नियंत्रित किया जाना चाहिए। हालाँकि प्रतिरोधकता जितनी अधिक होगी, सफाई प्रभाव उतना ही बेहतर होगा, लेकिन प्रतिरोधकता जितनी अधिक होगी, चिप पर उत्पन्न होने वाली स्थैतिक बिजली उतनी ही अधिक होगी। इसलिए, यह आमतौर पर 8 M and से थोड़ा अधिक के स्तर पर नियंत्रित होता है, और प्रारंभिक प्रक्रिया के लिए 16-17 M is नहीं हो सकता है। इसके अलावा, सामग्री की पसंद में, पैकेजिंग सामग्री को विरोधी स्थैतिक सामग्री का उपयोग करना चाहिए, अनुपचारित बहुलक सामग्री से बचने की कोशिश करें।
२.२ रिसाव विधि
इसे रिसाव के माध्यम से स्थैतिक बिजली को खत्म करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। आमतौर पर, इलेक्ट्रोस्टैटिक ग्राउंडिंग पृथ्वी को विद्युत आवेश का रिसाव है; वस्तु की विद्युत चालकता बढ़ाने के लिए जमीन की सतह पर या वस्तु के अंदर रिसाव होने की एक विधि भी है, जैसे कि इलेक्ट्रोस्टैटिक एजेंट को जोड़ना या आर्द्रता में वृद्धि करना। सबसे आम स्टाफ और स्टेटिक ग्राउंडिंग पोस्ट द्वारा पहना जाने वाला एंटी-स्टैटिक रिस्ट स्ट्रैप है।
2.3 इलेक्ट्रोस्टैटिक परिरक्षण विधि
इलेक्ट्रोस्टैटिक परिरक्षण के सिद्धांत के अनुसार, इसे दो प्रकारों में विभाजित किया जा सकता है: आंतरिक क्षेत्र परिरक्षण और बाह्य क्षेत्र परिरक्षण। विशिष्ट उपाय चार्ज किए गए स्क्रीन कवर के साथ चार्ज किए गए शरीर को अन्य वस्तुओं से अलग करना है, ताकि चार्ज किए गए शरीर का विद्युत क्षेत्र अन्य आसपास की वस्तुओं (फील्ड परिरक्षण के अंदर) को प्रभावित न करे; कभी-कभी परिरक्षित आवरण का उपयोग पृथक वस्तु को घेरने के लिए किया जाता है, ताकि यह बाहरी विद्युत क्षेत्रों (आउटफील्ड परिरक्षण) से सुरक्षित रहे। उदाहरण के लिए, GaAs डिवाइस पैकेज एक धातु मामले या एक धातु फिल्म का उपयोग करता है।
२.४ यौगिक निराकरण विधि
इसका उद्देश्य जटिल न्यूट्रलाइजेशन के माध्यम से स्टैटिक चार्ज को खत्म करना है। न्यूट्रलाइजेशन को प्राप्त करने के लिए चार्ज बॉडी पर एक आयन के साथ एक कॉम्प्लेक्स बनाने के लिए ग्राउंडिंग एलिमिनेटर का उपयोग। आम तौर पर बोलते हुए, जब चार्ज किया गया शरीर एक इन्सुलेटर होता है, चूंकि विद्युत चार्ज इन्सुलेटर पर प्रवाह नहीं कर सकता है, तो इलेक्ट्रिक चार्ज को लीक करने के लिए ग्राउंडिंग विधि का उपयोग नहीं किया जा सकता है। इस मामले में, एक निष्कासन को खत्म करने के लिए एक विलगावकारी आयन का उपयोग किया जाना चाहिए। इस विधि का उपयोग कन्वेयर बेल्ट पर उत्पन्न इलेक्ट्रोस्टैटिक चार्ज को खत्म करने के लिए किया जाता है।
2.5 स्वच्छ उपाय
आंतरायिक निर्वहन से बचने के लिए डिज़ाइन किया गया। यह अंत करने के लिए, आरोपित शरीर और आसपास की वस्तुओं की सतह को आंतरायिक निर्वहन की संभावना को कम करने के लिए यथासंभव चिकनी और साफ रखा जाना चाहिए।