सफ़ाई कक्षों में स्थैतिक बिजली के खतरे

सफ़ाई कक्षों में स्थैतिक बिजली के खतरे

1. इलेक्ट्रोस्टैटिक कूलम्ब बल

Under the action of electrostatic Coulomb force, adsorbed dust and dirt cause increased leakage or short circuits in components, damaging performance and significantly reducing yield and reliability. For example, when the dust particle size is >100μm, एल्यूमीनियम तार की चौड़ाई लगभग 100μm है, और ऑक्साइड फिल्म की मोटाई 50μm है, उत्पाद के स्क्रैप होने की सबसे अधिक संभावना है। अब, महीन तार व्यास और पतली ऑक्साइड फिल्मों के साथ, बहुत छोटे धूल कण भी घटकों को नुकसान पहुंचा सकते हैं। यह अक्सर नक़्क़ाशी, सफाई, फोटोलिथोग्राफी, स्पॉट वेल्डिंग और पैकेजिंग जैसी प्रक्रियाओं के दौरान होता है।

2. इलेक्ट्रोस्टैटिक डिस्चार्ज (ईएसडी)

(1) घटकों की इंसुलेटिंग ऑक्साइड फिल्म टूट जाती है, और तारों के बीच लीड जल जाते हैं या पिघल जाते हैं। यदि एक मानव शरीर 10KV (100PF) का स्थिर चार्ज रखता है, और एक डिवाइस पिन को छूता है, तो एक ESD उत्पन्न होगा। जमीन पर तात्कालिक पल्स डिस्चार्ज करंट 20A (10~100s) के शिखर तक पहुंच सकता है। यह विनाशकारी है, न केवल उच्च -घनत्व, महीन-व्यास, पतली-फिल्म SiO2 डिवाइस जैसे एलएसआई और वीएलएसआई को नुकसान पहुंचाता है, बल्कि सामान्य आईसी और एमओएस डिवाइस को भी नुकसान पहुंचाता है। आम तौर पर, डिवाइस के इंसुलेटिंग गेट SiO2 फिल्म का झेलने योग्य वोल्टेज E=(5-10) × 10⁶ V/cm है। यदि SiO2 फिल्म की मोटाई 1000 है, तो डिवाइस के इनपुट पिन पर 50V-100V या इससे अधिक का स्थिर वोल्टेज लगाने से ब्रेकडाउन हो जाएगा। मानव शरीर में 50V या 100V से अधिक स्थैतिक बिजली ले जाना बहुत आम बात है।

(2) शोर और विद्युत चुम्बकीय हस्तक्षेप पैदा करना

ESD-प्रेरित ईएमआई में तीव्र शिखर और मजबूत सिग्नल होते हैं, जो एक सर्किट में कई वोल्ट ऊर्जा के बराबर होते हैं। कई मेगाहर्ट्ज या यहां तक ​​कि सैकड़ों मेगाहर्ट्ज तक फैली आवृत्तियों के साथ शक्तिशाली शोर, घटकों को नुकसान पहुंचा सकता है, उपकरण और सेंसर में खराबी का कारण बन सकता है, और यहां तक ​​कि उपकरण दुर्घटनाग्रस्त भी हो सकता है। ईएसडी प्रेरित ईएमआई गलत सिग्नल इनपुट या लैच अप घटना का कारण भी बन सकता है। उदाहरण के लिए, एक क्लीनरूम में, यदि वेफर की ईएमआई शील्ड को स्टील ट्रॉली पर रखा जाता है, तो वेफर से ईएसडी इंडक्शन के माध्यम से ट्रॉली में प्रेषित किया जाएगा। चूंकि पहिए इंसुलेटेड हैं, ईएमआई के प्रसार के कारण वेफर प्रोसेसिंग मशीन दुर्घटनाग्रस्त हो सकती है।

(3) मानव शरीर को बिजली का झटका लगना

ईएसडी मानव शरीर स्थैतिक डिस्चार्ज बॉल

जब मानव शरीर पर ईएसडी या मानव शरीर पर ईएसडी मानव शरीर की बिजली के झटके की सीमा से 5mA से अधिक हो जाता है, तो लोगों को विभिन्न हानिकारक संवेदनाओं का अनुभव होगा, जिससे कर्मचारियों के बीच भावनात्मक संकट और परिचालन संबंधी त्रुटियां होंगी।

महत्वपूर्ण प्रयासों के बावजूद, सेमीकंडक्टर, फ्लैट पैनल डिस्प्ले, ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक्स इत्यादि के लिए क्लीनरूम में स्थैतिक बिजली की समस्याएं अभी भी उत्पादन सुरक्षा और उत्पाद आउटपुट, विनिर्माण लागत और दक्षता, और उत्पाद की गुणवत्ता और विश्वसनीयता को प्रभावित करती हैं। विदेशी औद्योगिक विशेषज्ञों का अनुमान है कि संयुक्त राज्य अमेरिका में स्थैतिक बिजली के कारण औसत वार्षिक उत्पाद हानि 8{6}}33% है, और कुछ का अनुमान है कि संयुक्त राज्य अमेरिका में स्थैतिक बिजली के कारण इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योग को वार्षिक क्षति 10 बिलियन डॉलर तक पहुँच जाती है। 1980 के दशक में, जापान ने स्क्रैप किए गए इलेक्ट्रॉनिक उत्पादों का विश्लेषण किया और पाया कि ईएसडी के कारण होने वाला नुकसान एक तिहाई था। मेरे देश के सेमीकंडक्टर, फ्लैट पैनल एलसीडी और ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक उद्योग अपेक्षाकृत देर से शुरू हुए, लेकिन इलेक्ट्रोस्टैटिक डिस्चार्ज (ईएसडी) खतरे अभी भी अक्सर होते रहते हैं, जिसके परिणामस्वरूप उपज दर कम होती है। बैंकों, प्रतिभूति कंपनियों, गोपनीय डेटाबेस, निगरानी केंद्रों, बिजली प्रेषण कक्षों और अन्य समान सेटिंग्स में, ईएसडी आसानी से हस्तक्षेप और डेटा हानि का कारण बन सकता है, जिससे और भी गंभीर स्थिति पैदा हो सकती है।