स्वच्छ कमरे में स्थिर बिजली का नुकसान
अर्धचालक, फ्लैट पैनल डिस्प्ले, ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक्स और अन्य साफ कमरे, बहुत सारे काम के बावजूद, स्वच्छ कमरे में इलेक्ट्रोस्टैटिक समस्याएं अभी भी उत्पादन सुरक्षा और उत्पाद की उपज को प्रभावित करती हैं, विनिर्माण लागत और लाभों को प्रभावित करती हैं, उत्पाद की गुणवत्ता और विश्वसनीयता को प्रभावित करती हैं।
1. इलेक्ट्रोस्टैटिक कूलम्ब बल
इलेक्ट्रोस्टैटिक कूलम्ब बल की कार्रवाई के तहत, adsorbed धूल और गंदगी घटकों को लीक या शॉर्ट सर्किट बनाने का कारण बनती है, जो प्रदर्शन को बाधित करती है और उपज और विश्वसनीयता को कम करती है। यदि धूल का कण आकार> 100 सुक्ष्ममापी है, तो एल्यूमीनियम तार की चौड़ाई लगभग 100 माइक्रोन है, और ऑक्साइड फिल्म की मोटाई 50 माइक्रोन है, उत्पाद के छिलने की संभावना सबसे अधिक है। अब वायर व्यास महीन है, ऑक्साइड फिल्म बहुत पतली है, और छोटे कण आकार वाले धूल के कण घटकों को नुकसान पहुंचाएंगे। यह ज्यादातर जंग सफाई, फोटोलिथोग्राफी, स्पॉट वेल्डिंग और पैकेजिंग की प्रक्रियाओं में होता है।
2, इलेक्ट्रोस्टैटिक डिस्चार्ज ईएसडी
(1) घटक की इन्सुलेट ऑक्साइड फिल्म टूट जाती है, और लीड को उड़ा दिया जाता है या लाइन को उड़ा दिया जाता है। यदि मानव शरीर स्थैतिक आवेश के 10KV (100PF) को वहन करता है, तो ESD तब होता है जब डिवाइस को छुआ जाता है, और 20A (10 ~ 100s) तक की पल्स डिस्चार्ज करंट पृथ्वी पर तुरंत बनाई जा सकती है, उच्च घनत्व का उल्लेख करने के लिए नहीं, ठीक है तार व्यास, पतली SiO2 फिल्म। Lsi, Vlsi, सामान्य IC है, MOS को नुकसान होगा।
आम तौर पर बोलते हुए, डिवाइस का सामना करने वाले वोल्टेज क्षेत्र की ताकत गेट SiO2 फिल्म इन्सुलेट ई = (5-10) × 106V / सेमी है। यदि डिवाइस SiO2 की फिल्म की मोटाई 1000 है, तो डिवाइस इनपुट पिन लागू होने पर 50V-100V या उससे अधिक का स्थैतिक वोल्टेज मारा जाएगा। पहने हुए, और 50V, 100V से अधिक स्थैतिक बिजली के साथ शरीर बहुत आम है।
(2) शोर पैदा करना और विद्युत चुम्बकीय हस्तक्षेप का उत्सर्जन करना
ESD इलेक्ट्रोमैग्नेटिक वेव के पहले और बाद में ईएमआई को एक तेज शिखर का कारण बनता है, और सिग्नल मजबूत होता है, जो सर्किट में कुछ वोल्ट ऊर्जा के बराबर होता है। आवृत्ति कुछ MH2 या सैकड़ों MH2 के मजबूत शोर के कारण फैलती है, जिससे घटक क्षति हो सकती है, उपकरण और सेंसर ठीक से काम नहीं करते हैं, या यहां तक कि डिवाइस दुर्घटनाग्रस्त हो जाता है।
ईएसडी के कारण होने वाली ईएमआई में त्रुटि संकेत या लैचिंग घटना का इनपुट भी होता है। एक साफ कमरे में, वेफर के ईएमआईएफ बॉक्स को एक स्टील ट्रॉली पर रखा जाता है, और वेफर के ईएसडी को प्रारंभ करनेवाला के माध्यम से ट्रॉली को प्रेषित किया जाता है। पहिया अछूता है, और ईएमआई के प्रसार से वेफर हैंडलर दुर्घटनाग्रस्त हो जाता है।
(३) मानव शरीर को बिजली का झटका
जब मानव शरीर का ESD या मानव शरीर का ESD मानव शरीर की विद्युत शॉक सीमा 5 mA या उससे अधिक की वर्तमान से अधिक हो जाता है, तो लोगों को चोट की विभिन्न भावनाएं होंगी, जिससे कर्मचारियों की भावनात्मक चिंता और परिचालन त्रुटियां हो सकती हैं।
सेमीकंडक्टर्स, फ्लैट पैनल डिस्प्ले, और ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक्स जैसे क्लीनर्स ने बहुत काम किया है, लेकिन क्लीनरूम में स्थिर समस्याएं अभी भी उत्पादन सुरक्षा और उत्पाद की उपज को प्रभावित करती हैं, विनिर्माण लागत और लाभों को प्रभावित करती हैं, और उत्पाद की गुणवत्ता और विश्वसनीयता को प्रभावित करती हैं। विदेशी औद्योगिक विशेषज्ञों के अनुसार, संयुक्त राज्य अमेरिका में स्थिर बिजली के कारण उत्पादों की वार्षिक हानि औसतन 8-33% है। कुछ लोगों का अनुमान है कि संयुक्त राज्य में इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योग को होने वाली वार्षिक क्षति 10 बिलियन अमेरिकी डॉलर है। 1980 के दशक में, जापान ने बिखरे हुए इलेक्ट्रॉनिक उत्पादों का विश्लेषण किया। ESD के कारण होने वाला नुकसान 1/3 है। चीन के अर्धचालक, फ्लैट-पैनल लिक्विड क्रिस्टल डिस्प्ले, ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक्स, आदि सभी देर से शुरू हुए, लेकिन इलेक्ट्रोस्टैटिक खतरे भी समय-समय पर होते हैं, और उपज कम होती है। बैंक, प्रतिभूति कंपनियां, गोपनीय डेटाबेस, निगरानी केंद्र, पावर डिस्पैचिंग रूम, आदि, अगर ईएसडी होता है, तो हस्तक्षेप करना आसान होता है, और डेटा खो जाता है, स्थिति और भी गंभीर होती है।